碳化硅制作工艺及设备
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碳化硅晶片加工过程及难点 - 知乎专栏
2022年1月21日 碳化硅晶片生产工艺流程 碳化硅晶片生产流程 碳化硅晶片以高纯硅粉和高纯碳粉作为原材料，采用物理气相传输法（PVT）生长碳化硅单晶，再在衬底上使用化 “科普中国”科学百科词条编写与应用工作项目 石英砂 电阻炉 高温冶炼而成。 碳化硅在大自然也存在罕见的矿物， 莫桑石 。 在C、N、B等非氧化物高技术 耐火原料 中，碳化硅为应用最广泛、最经济的一种，可以称为 金钢砂 碳化硅 - 百度百科2022年4月27日 8英寸SiC晶体生长的难点在于：首先要研制出8英寸籽晶；其次要解决大尺寸带来的温场不均匀、气相原料分布和输运效率问题；另外，还要解决应力加大导致晶 8英寸碳化硅单晶研究获进展----中国科学院
碳化硅的合成、用途及制品制造工艺 - 百家号
2020年6月10日 2020-06-10 11:53 关注 碳化硅 (SiC)，又称金刚砂。 1891年美国人艾契逊 (Acheson)发明了碳化硅的工业制造方法。 碳化硅是用天然硅石、碳、木屑、工业盐作基
